進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品簡介：

進口ULVAC日本愛發科 DC-5-P/DC-10-P 脈沖和直流電源系統
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品型號：DC-5-P/DC-10-P

更新時間：2025-11-12

廠商性質：代理商

訪問量：65

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ULVAC日本愛發科

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進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

實現穩定反應濺射的直流脈沖電源

脈沖和直流電源系統
直流脈沖電源_DC PULSE系列Model: DC PULSE

ULVA

DC PULSE 系列是一種脈沖電源，可有效抑制無功過程中發生的異常放電。
該電源在設定的周期內反轉輸出電壓，并抵消目標表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。

特點

通過抑制異常放電，可以輸入大功率。
減少電弧引起的基板損傷
輸出的振蕩頻率可設置為 5kHz 至 250kHz。
最多可并聯運行 6 臺（僅限同一型號的組合）
通過改變運行模式，也可以用作具有低電弧功能的直流電源。

規格

Model		DC-5-P	DC-10-P
輸入規格	輸入電壓	三相 AC208V
	輸入電容	8kVA 或更低	13.5kVA 或更低
輸出規格	最大額定功率	5kW	10kW
	額定電流	12.5A	25A
	額定電壓	5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V
	振蕩頻率	5k-250kHz
	反向電壓脈沖寬度	0.4μ-5.0μs
	點火電壓	1500V
控制	控制精度	±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低，以較大者為準。
	控制保修范圍	額定功率值的 10-100%
	外部控制	Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485）
并聯運行		有
冷卻方式		強制風冷
外形尺寸（W×D×H）不包含突起		483×630×133（mm）
質量		29kg	36kg
適合規格		CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲）

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脈沖和直流電源系統
直流脈沖電源_DC PULSE系列Model: DC PULSE

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直流脈沖電源_DC PULSE系列Model: DC PULSE