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產(chǎn)品中心

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原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：

原裝ULVAC日本愛發(fā)科 SG-10-4 脈沖和直流電源系統(tǒng)
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

產(chǎn)品型號：SG-10-4

更新時間：2025-11-12

廠商性質：代理商

訪問量：69

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原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)

原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)


兼具可靠性和穩(wěn)定性的雙陰極支持LF電源


脈沖和直流電源系統(tǒng)
LF電源_SGModel: SG

ULVAC


它專為等離子體生成而設計，例如 LF 電源、雙陰極濺射、等離子體CVD等，并且可以連續(xù)輸出20kHz至100kHz頻率的額定功率，用于等離子體負載。它是一種高度可靠的電源，通過在設計中體現(xiàn)我們多年積累的專業(yè)知識，包括電源的應用，非常適合等離子負載。

    特點

    • 您可以以1kHz為增量從20kHz到100kHz設置振蕩頻率。 *1

    • 可以在不改變變壓器抽頭的情況下輸出到規(guī)格的輸出范圍。

    • 可進行脈沖輸出控制。

    • 外部模擬控制、控制器控制等是標準設備，可通過 OPTION 進行S232C、RS485和EtherCAT等各種控制。

    *1：輸出電壓/電流根據(jù)頻率設定條件有限制。

    規(guī)格

    ModelSG-10-4
    輸入規(guī)格輸入電壓3相 AC380-440V
    輸入電容13.2kVA 或更低
    輸出規(guī)格最大額定功率10kW
    額定電流32A
    額定電壓1000Vrms
    振蕩頻率20k-100kHz
    控制控制精度± 100W（電壓 30V 或更高，電流 1.5A 或更高）
    其他條件適用
    控制保修范圍額定功率值的 10-100%（電壓 30V 以上，電流 1.5A 以上）
    外部控制模擬/數(shù)字、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可選）
    冷卻方式水冷：7 L/min 或更高
    外形尺寸（W×D×H） 不包含突起483×500×177（mm）
    質量40kg
    適合規(guī)格CE、SEMI F47、RoHS（歐洲）


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