EBARA 日本荏原 EST 系列高溫防腐螺桿干式真空泵玉崎科學原裝現貨

更新時間：2026-06-04

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EBARA 日本荏原 EST 系列高溫防腐螺桿干式真空泵（原裝日本進口?重載強腐蝕螺桿旗艦）

一、產品定位概述

EST 為全水冷高溫螺桿式干泵，荏原重工級強腐蝕機型，對標高粉塵、強酸鹵素、大量固態副產物的 CVD/ALD/ 蝕刻重制程；產品線區分：

EV-S：風冷羅茨、潔凈輕載
EV-X：中小型螺桿、通用中腐蝕
EV-M：水冷羅茨、富氫重載
EST：水冷螺桿、高溫恒溫 + 抗堵 + 強防腐（粉塵 / 高濃度腐蝕）
全系列日本原廠整機，通過SEMI-S2、CE、NRTL半導體安全認證，50/60Hz 電源抽速恒定不變荏原製作所。

二、全系列主流型號 + 核心參數

型號	抽速 (L/min)	極限真空 (Pa)	額定功率 (kW)	冷卻	進水流量 (L/min)	進氣法蘭	整機重量 (kg)
EST10N	1000	≤2.7	2.3	標配水冷	5~8	KF40/NW40	150
EST25N	2500	≤0.4	3.0	水冷	5~8	KF40/NW40	180
EST100WN	10000	≤0.4	5.5	水冷	5~8	DN50	330
EST200WN	20000	≤0.4	7.5	水冷	5~8	ISO100	420
EST300WN	30000	≤0.4	11.0	水冷	5~8	ISO100	510
EST500WN	50000	≤0.4	15.0	水冷	6~10	ISO160	680
EST800WN	80000	≤0.5	22.0	水冷	6~10	ISO200	920

后綴含義

N：標準防腐（Ni-P 鍍鎳腔體 + 多路氮氣吹掃），常規 HCl、Cl?、硅烷制程；
WN：加強防腐（轉子鎳基合金 + 腔體 PFA 特氟龍內襯），HF 、高濃度鹵素、大量粉塵副產物專用。

三、五大核心產品優勢（EST 核心賣點）

1、整機分段伴熱恒溫系統

泵腔全段獨立電伴熱，整機高溫恒溫運行，從根源防止 NH?Cl、SiO?、金屬鹽粉塵冷凝結塊堵泵，保養周期是普通干泵 2~4 倍，解決 CVD/ALD 堵泵痛點。

2、螺桿轉子 + 超大粉塵容納腔體

同步精密非接觸螺桿結構，腔體容積加大，可耐受大量固態副產物吸入，粉塵通過能力＞EV-M 羅茨泵，粉塵多的外延、LPCVD 。

3、全規格標配防腐基材

N 款內腔鍍化學鎳；WN 款轉子鎳基合金 + 全腔體 PFA 特氟龍涂層，耐受 HF、強堿、含氟強腐蝕尾氣荏原製作所。

4、智能變頻 + 整機 PLC 電控

機身 LCD 可編程控制面板，空載怠速降功率節能 35%+；內置溫度、進氣壓力、振動、過載全傳感器，故障預警、運行日志存儲；標配 Modbus-RTU，可遠程對接產線 PLC 聯控啟停。

5、全水冷穩定溫控

全系強制水冷，進水≤30℃即可，高溫工藝、長時間滿載連續運行不超溫，適配 7×24h 量產線工況，運行噪音≤65dB (A)。

四、結構原理

無油干式雙螺桿容積壓縮，泵體內無潤滑油，真空無油污染；轉子高精度間隙、非接觸運轉無磨損，大氣壓直抽中高真空，無需前級泵串聯；多路分布式氮氣反吹，防止腐蝕性氣體腐蝕轉子腔體。

五、選配配件

多路 N?氮氣吹掃總成（N/WN 標配）、氣鎮閥（高含水蒸氣工藝）；
前置粉塵捕集罐、冷凝回收罐、排氣洗滌塔；
獨立外置冷水機組、遠程控制柜、排氣消音器。

六、行業選型應用

1、EST10N/EST25N（小機型）

實驗室 ALD、RTP 快速熱處理、小型 LPCVD、第三代半導體 SiC/GaN 研發設備

2、EST100/200WN（主力爆款）

量產線干法蝕刻、PECVD、SACVD、LED 芯片外延、光伏管式 PECVD

3、EST300/500/800WN（大抽速）

HDP-CVD、MOCVD 量產線、面板集中真空、大功率 ALD 量產線（高粉塵高腐蝕）EBARA

七、EST / EV-S / EV-X / EV-M 四系列選型速查表

機型	泵結構	冷卻方式	核心適用工況
EV-S	多級羅茨	全風冷	潔凈 / 微腐蝕、LoadLock、PVD 預抽（輕載）
EV-X	小型螺桿	風冷 / 水冷	常規蝕刻、普通 CVD、少量副產物（中載）
EV-M	重載羅茨	全水冷	富氫 MOCVD、LPCVD、氫氣多、粉塵中等（重載）
EST	高溫螺桿	全水冷	高粉塵 + 高濃度強酸 / 鹵素、大量副產物 CVD/ALD（極重載強腐蝕）

八、采購渠道

玉崎科學儀器（深圳）有限公司原裝現貨供應

地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學

項目負責人：林經理

EBARA 日本荏原 EST 系列 高溫防腐螺桿干式真空泵玉崎科學原裝現貨

EBARA 日本荏原 EST 系列 高溫防腐螺桿干式真空泵（原裝日本進口?重載強腐蝕螺桿旗艦）