干式真空泵是非接觸式真空泵，不使用油或液體進行密封。它們實現了無回流或水和油擴散的清潔真空。此外，不需要定期維護，如補充或更換水或油，操作非常簡單。它是

半導體制造過程以及強調清潔度的太陽能電池制造過程中的干式真空泵是非接觸式真空泵，不使用油或液體進行密封。它們實現了無回流或水和油擴散的清潔真空。此外，不需要定期維護，如補充或更換水或油，操作非常簡單。它是

半導體制造過程以及強調清潔度的FPD/LED/太陽能電池制造過程中的泵。近年來，它們的應用范圍擴大，因為它允許從質譜儀和電子顯微鏡等分析儀中輕松、清潔地排出氣體。此外，由于清潔真空和方便的維護，它們正在被引入各種應用，如真空干燥過程和薄膜沉積過程。