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產品型號：VTR-060M/ERH
更新時間：2025-11-12
廠商性質：代理商
訪問量：57
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ULVAC
將架臺上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發設備。
適用于清潔排氣的基礎研究開發等實驗用途。
臺式,小型尺寸可以節省空間。
配備渦輪分子泵。
只需操作開關,即可實現高真空排氣。
具有可擴展性,可進行多層鍍膜,基板旋轉。
適合低熔點金屬鍍膜。
| model | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 10-４臺（真空層內無負荷清潔時） 1.5×10-３Pa（選項規格） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/20min（真空槽內無負荷清潔時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 圓柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm) |
| 基板 | 7端口（底面） | |
| 基板尺寸?最大尺寸 | □25mm ? □50mm（Max） | |
| 電源系統 | 蒸發電極構成 | 1點式 |
| 蒸發電源?數量 | SEREM/PSE-150C?1式 0～10V 80A (MAX) | |
| 排氣系統 | 主泵 | 分子泵(空冷) 60Ｌ/sec |
| 補助泵 | 油回轉泵 20L/min | |
| 油霧捕集器 | OMT-050A | |
| 操作系統 | 主閥 | 選項（蝶閥） |
| 補助閥 | 選項（三通閥） | |
| 自動泄露閥 | 選項（電磁閥） | |
| 真空槽排氣閥 | 選項（泄露口） | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統 | 真空計 | 選項 (ISG1) |
| 膜厚計 | 選項 (CRTM-6000G) | |
| 設置 | 最大尺寸 本體 | 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H) |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質量 本體 | 50Kg | |
| 電源 | 24Kg | |
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 所要時間 | 本體 | 100Ｖ 單相 50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100Ｖ 單相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭）4m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m | |
※請準備2個系統的接地插座。
