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產(chǎn)品中心ULVAC日本愛發(fā)科VPC-061A原裝現(xiàn)貨ULVAC日本愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：VPC-061A
更新時(shí)間：2025-11-12
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：65
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產(chǎn)品分類
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ULVAC
將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測(cè)量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
桌面緊湊型，可節(jié)省安裝空間。
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
停電時(shí)會(huì)自動(dòng)開啟泄露閥，以保護(hù)主泵。
| model | VPC-061A | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 1.3×10-３Pa 6.6×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)） |
| 排氣時(shí)間 | 4.0×10-３Pa/20min 1.3×10-３Pa/20min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ150mm×高200mm) |
| 饋通圈 | 3端口(底面3) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □25mm ? □50mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 1點(diǎn)式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴(kuò)散泵（空冷） 50L/sec |
| 液體氮?dú)獠都?/span> | 有 | |
| 補(bǔ)助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵 20L/min | |
| 油霧捕集器 | 選項(xiàng) | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補(bǔ)助閥 | 三通閥e | |
| 自動(dòng)泄露閥 | 有 | |
| 操作 | 手動(dòng) | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | 選項(xiàng) |
| 電離真空計(jì) | 選項(xiàng) | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H) |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質(zhì)量 本體 | 32kg | |
| 電源 | 40kg | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。
| 型式 | VPC-061 | |
| 所要時(shí)間 | 本體 | 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m |
| 電源 1Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m | |
