玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司正式成為日本EBARA荏原代理商

更新時(shí)間：2026-04-03

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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司正式成為日本EBARA荏原代理商

深化真空技術(shù)與流體機(jī)械領(lǐng)域合作，助力中國半導(dǎo)體與制造產(chǎn)業(yè)升級(jí)

正文：

近日，玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“玉崎科學(xué)儀器"）與日本百年工業(yè)——株式會(huì)社荏原制作所（EBARA Corporation）正式簽署代理協(xié)議。即日起，玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司正式成為EBARA荏原在中國地區(qū)的授權(quán)代理商。

此次合作的達(dá)成，標(biāo)志著玉崎科學(xué)儀器在真空獲得設(shè)備與流體機(jī)械領(lǐng)域的戰(zhàn)略布局邁上新臺(tái)階。依托玉崎科學(xué)儀器深耕日系儀器多年的渠道管理經(jīng)驗(yàn)與覆蓋全國的銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，雙方將共同致力于將EBARA荏原的高品質(zhì)產(chǎn)品——包括干式真空泵、CMP裝置、廢氣處理設(shè)備、臭氧水發(fā)生裝置及通用泵類產(chǎn)品等——更高效地導(dǎo)入中國市場(chǎng)，為國內(nèi)半導(dǎo)體、平板顯示、光伏、化工、醫(yī)藥及科研領(lǐng)域的客戶提供更短的交期、更具競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格以及原廠級(jí)別的技術(shù)支持。

關(guān)于EBARA荏原：百年積淀的綜合環(huán)境技術(shù)企業(yè)

荏原制作所（EBARA Corporation）成立于1912年，總部位于日本東京，是一家擁有110余年歷史的綜合性工業(yè)集團(tuán)。作為全球的泵類產(chǎn)品制造商和真空技術(shù)企業(yè)，荏原業(yè)務(wù)涵蓋三大核心事業(yè)板塊：一是以水泵、壓縮機(jī)為核心的流體機(jī)械事業(yè)；二是以干式真空泵、CMP裝置為核心的精密電子事業(yè)；三是以吸收式制冷機(jī)、冷卻塔為核心的環(huán)境工程事業(yè)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，荏原的精密與電子事業(yè)公司憑借真空技術(shù)和平坦化技術(shù)，向全球供應(yīng)半導(dǎo)體制造的CMP裝置、干式真空泵、廢氣處理裝置、臭氧水生產(chǎn)裝置等產(chǎn)品。這些產(chǎn)品通過高性能、高可靠性和令人放心的技術(shù)支持體制，在眾多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用——不僅限于半導(dǎo)體領(lǐng)域，在化學(xué)、醫(yī)藥、其他制造業(yè)和研究開發(fā)用途方面同樣大放光彩。

核心產(chǎn)品線介紹

（一）干式真空泵系列

荏原的干式真空泵采用非接觸式結(jié)構(gòu)，對(duì)于構(gòu)建潔凈的真空環(huán)境。主要系列包括：

系列	代表型號(hào)	核心特點(diǎn)	典型應(yīng)用
EV-X系列	EV-X	小型化設(shè)計(jì)、交貨期短、耐用性高、擁有總成本低廉，可應(yīng)對(duì)工藝負(fù)荷和復(fù)雜性的增加	半導(dǎo)體制造Subfab系統(tǒng)
EV-M系列	EV-M	專為重制程應(yīng)用設(shè)計(jì)，智能轉(zhuǎn)速控制，保證足夠氣體吞吐量，能耗低，選配耐腐蝕材料	半導(dǎo)體、液晶、光伏電池產(chǎn)線
EST系列	EST	基于創(chuàng)新性螺桿泵技術(shù)，擅長應(yīng)對(duì)重制程反應(yīng)產(chǎn)生的化學(xué)副產(chǎn)物，適合粉狀、腐蝕性氣體	重制程工藝，需耐腐蝕、耐高溫場(chǎng)合
EV-S系列	EV-S200N、EV-S20	多級(jí)羅茨式干式真空泵，抽氣速率20,000 L/min，極限壓力0.5Pa，標(biāo)配LCD可編程控制器	刻蝕、CVD/PVD鍍膜、離子注入、Loadlock預(yù)抽

（二）CMP裝置（化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備）

荏原向全球主要半導(dǎo)體廠商供應(yīng)高吞吐量CMP裝置，如F-REX系列，具備經(jīng)市場(chǎng)證明的高度可靠性及過程處理性能，并能靈活應(yīng)對(duì)各客戶的特殊規(guī)格要求。設(shè)備支持干進(jìn)干出，配備支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備。

（三）廢氣處理裝置

荏原的廢氣處理裝置可對(duì)導(dǎo)致氟化溫室氣體（PFCs）、有毒氣體、VOC等制造工藝中產(chǎn)生的有害氣體進(jìn)行無毒化處理。G5/G6系列機(jī)型能夠高效處理難以進(jìn)行凈化處理的PFCs氣體，適用于半導(dǎo)體、液晶面板、太陽能電池和LED制造業(yè)務(wù)。

（四）臭氧水發(fā)生裝置

荏原的OZW系列臭氧水生產(chǎn)裝置能夠生成高濃度且濃度非常穩(wěn)定的臭氧水，有助于提高處理效率、提高潔凈度，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗工藝。

（五）通用泵類產(chǎn)品

作為全球水泵產(chǎn)品制造商之一，荏原提供涵蓋清水、污水、化工液體等多種介質(zhì)的泵類產(chǎn)品，包括CDX系列不銹鋼離心泵、DWO系列臥式不銹鋼泵、3M系列端吸離心泵等，廣泛應(yīng)用于建筑、工業(yè)、市政、農(nóng)業(yè)水利等領(lǐng)域。

關(guān)于玉崎科學(xué)儀器：專業(yè)的日系儀器供應(yīng)鏈平臺(tái)

玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司是日本科學(xué)器機(jī)株式會(huì)社在中國設(shè)立的全資子公司。公司憑借與日本眾多制造商的長期良好合作關(guān)系，長期致力于為國內(nèi)客戶提供光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備及FA自動(dòng)化等上萬種產(chǎn)品銷售。

公司擁有專業(yè)的銷售與技術(shù)團(tuán)隊(duì)，秉持“提供有競(jìng)爭(zhēng)力的解決方案和服務(wù)，持續(xù)創(chuàng)造客戶價(jià)值"的理念，為國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)及制造業(yè)工廠提供從選型到售后的一站式服務(wù)。

合作展望：本地化服務(wù)全面升級(jí)

成為EBARA荏原的授權(quán)代理商后，玉崎科學(xué)儀器將在中國市場(chǎng)啟動(dòng)如下服務(wù)升級(jí)：

現(xiàn)貨庫存：針對(duì)熱門型號(hào)（如EV-S系列干式真空泵等）建立深圳倉庫安全庫存，大幅縮短交貨周期。
專業(yè)技術(shù)支持：提供真空泵選型替代、安裝調(diào)試、維護(hù)保養(yǎng)及配件配套服務(wù)，為客戶提供從售前到售后的技術(shù)支持。
解決方案整合：結(jié)合玉崎科學(xué)儀器原有的光學(xué)設(shè)備、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器等產(chǎn)品線，為客戶提供更全面的半導(dǎo)體、光伏及實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案。

玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司

2026年4月3日