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更新時(shí)間:2026-06-04
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EV-SA20 / EV-S20P/N(爆款單品)
風(fēng)冷免水冷、小型無油,EV-S20N 耐蝕鎳材款、S20P 氮?dú)獯祾呖睿毁|(zhì)譜、SEM、小型鍍膜、實(shí)驗(yàn)室常年備貨,國內(nèi)小真空配套銷量榜。
ESR20N、ESR30N
緊湊型防腐干泵,輕腐蝕工藝、小型半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)配,鋰電、化驗(yàn)設(shè)備量大荏原製作所。
EV-A10-2S
單相 220V 小螺桿干泵,替換旋片油泵,高校實(shí)驗(yàn)室、小型鍍膜機(jī)熱銷。
EV-PA500
空冷中型干泵,鋰電真空干燥、醫(yī)藥、小型 PECVD 爆款,無需水冷安裝便捷,近幾年國產(chǎn)鋰電產(chǎn)線標(biāo)配采購量大。
EV-X30N/X50/X100N/X200N(EV-X 新一代主力全系列)
EV-X 是荏原現(xiàn)階段國內(nèi)銷量主力系列:
X30N(3000L/min):中小型 Loadlock
X100N(10000L/min):刻蝕、CVD 中小型設(shè)備
X200N(20000L/min):光伏、碳化硅產(chǎn)線主力采購型號(hào),節(jié)能防腐、占地小。
ESR500W
中流量防腐機(jī)型,電鍍、化工真空、濕法制程常年出貨。
EV-M20N、M102N、M202N、M302N
EV-M 重載羅茨干泵,半導(dǎo)體量產(chǎn)線、大腔體鍍膜、LCD 工廠標(biāo)配;M102N/M202N 國內(nèi)建廠配套剛需型號(hào)。
ESA80W?HDF、ESA100W、ESA200W、ESA300W
ESA 輕氣體專用(氫氣 / 氦氣),MO-CVD、光伏、顯示行業(yè)爆款;ESA80WN 是第三代半導(dǎo)體、外延設(shè)備通用泵,國內(nèi)碳化硅產(chǎn)線采購激增。
40DX、50DX、80DX(DX 系列水環(huán)):荏原經(jīng)典液環(huán)泵,注塑、化工抽氣、污水處理國內(nèi)存量最大;
250×、320× 大型水環(huán):造紙、礦山真空脫水批量采購型號(hào)。
實(shí)驗(yàn)室 / 儀器:EV-S20、ESR20N、EV-A10
鋰電 / 醫(yī)藥:EV-PA500、EV-X50/X100
半導(dǎo)體 / 光伏量產(chǎn):EV-X200N、EV-M 全系列、ESA80W
通用化工:DX 水環(huán)全系列
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